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UltraFilm薄膜測量系統

簡(jiǎn)要描述：系統可以為各種材質(zhì)薄膜提供高精度的厚度均勻性測量。使用創(chuàng )新的融合光譜反射技術(shù)、近紅外干涉技術(shù)以及高亮度光源驅動(dòng)的光譜橢偏儀技術(shù)的多傳感器融合測量技術(shù)，是國內可以實(shí)現同質(zhì)膜厚全自動(dòng)檢測的系統。

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  • 更新時(shí)間：2024-11-26
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詳細介紹

薄膜電阻測量?jì)x系統可以為各種材質(zhì)薄膜提供高精度的厚度均勻性測量。使用創(chuàng )新的融合光譜反射技術(shù)、近紅外干涉技術(shù)以及高亮度光源驅動(dòng)的光譜橢偏儀技術(shù)的多傳感器融合測量技術(shù)，是國內可以實(shí)現同質(zhì)膜厚全自動(dòng)檢測的系統。


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*1：靜態(tài)精度或可稱(chēng)為同點(diǎn)位多次連續測量的最大偏差值，數據為針對50um厚度雙拋玻璃片進(jìn)行實(shí)驗的結果

*2：多次取放測量同點(diǎn)位數據的最大三倍標準差值，數據為針對50um厚度雙拋玻璃片進(jìn)行實(shí)驗的結果


 

 

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