納米壓痕技術(shù)也稱(chēng)深度敏感壓痕技術(shù)，是測試材料力學(xué)性質(zhì)的方法之一，可以在納米尺度上測量材料的各種力學(xué)性質(zhì)，如載荷-位移曲線(xiàn)、彈性模量、硬度、斷裂韌性、應變硬化效應、粘彈性或蠕變行為等?？蛇m用于有機或無(wú)機、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學(xué)薄膜，微電子鍍膜，保護性薄膜，裝飾性薄膜等等。

影響納米壓痕試驗的因素很多，主要影響因素可歸納為以下幾種：

1.接觸零點(diǎn)的確定

2.力和位移的測定包括環(huán)境波動(dòng)的影響和磁場(chǎng)強度所引起的變化

3.卸載曲線(xiàn)的擬合

4.熱漂移速率

5.由于表面粗糙度引起的接觸面積變化

6.力,位移的校準值

7.試驗設備的柔度

8.壓頭面積函數的校準值

9.由于試驗設備的溫度和最后一次校準后時(shí)間不確定度引起的校準漂移

10.試樣表面與壓入方向的不垂直度。