白光干涉儀是以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以?xún)?yōu)于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量?jì)x器，用于表面形貌紋理，微觀(guān)結構分析，用于測試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，廣泛應用于光學(xué)，半導體，材料，精密機械等等領(lǐng)域。

工作原理：

白光干涉儀是利用光學(xué)干涉原理研制開(kāi)發(fā)的超精細表面輪廓測量?jì)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過(guò)分光鏡后合成一束光，并由成像系統在CCD相機感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會(huì )觀(guān)察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現的位置解析出被測樣品的相對高度。

應用領(lǐng)域：
白光干涉儀是用來(lái)測量三維微觀(guān)形貌的。白光干涉儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等，提供依據ISOIASMEEUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價(jià)標準。