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適用于光學(xué)、工業(yè)和半導體市場(chǎng)的高速、中精度、經(jīng)濟實(shí)惠的表面輪廓儀，納米分辨率彩色共聚焦傳感器（可配制點(diǎn)和線(xiàn)傳感器），為在線(xiàn)過(guò)程測量和控制而設計，結構緊湊，易于上下片和操作，可配制成獨立系統（X/Y/Z） 和附加升級至LAS （C/R/Z），多種樣品處理能力

QuickOCT-4D™ 將單點(diǎn)可見(jiàn)光光譜域光學(xué)相干斷層掃描 （SD-OCT） 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運動(dòng)控制平臺相結合，可以在高達 66 kHz 的單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度（高達 100μm）和軸向分辨率 （5nm） 針對半導體、生命科學(xué)和制藥行業(yè)的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測量進(jìn)行了優(yōu)化。

晶圓幾何形貌測量及參數自動(dòng)檢測機使用高精度高速光譜共焦雙探頭對射傳感器實(shí)現晶圓的非接觸式測量，結合高精度運動(dòng)模組及晶圓機械手可實(shí)現晶圓形貌的亞微米級精度的測量，該系統適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓，包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等；可以實(shí)現的尺寸與結構測量?jì)热莅ǎ喊?TTV, Bow, Warp, Thickness， TIR, Sag, LTV (Fullmap 測試)。

Filmetrics 3D光學(xué)輪廓儀具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率, Profilm3D同樣使用了現今高分辨率之光學(xué)輪廓儀的測量技術(shù)包含垂直掃描干涉（VSI）及相移干涉（PSI）。