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Filmetrics 3D光學(xué)輪廓儀

簡(jiǎn)要描述：Filmetrics 3D光學(xué)輪廓儀具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率, Profilm3D同樣使用了現今高分辨率之光學(xué)輪廓儀的測量技術(shù)包含垂直掃描干涉（VSI）及相移干涉（PSI）。

  • 產(chǎn)品型號：Profilm 3D
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)：代理商
  • 產(chǎn)品資料：
  • 更新時(shí)間：2024-11-26
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量： 6503

詳細介紹

　　Filmetrics 白光干涉儀（3D光學(xué)輪廓儀）

　　Profilm3D的解析力
　　每臺Profilm3D帶有直觀(guān)的粗糙度，表面形貌和臺階高度的測量軟件。所有常見(jiàn)如ISO 25178 所規范的粗糙度參數都支持，也包括軟件功能用于形貌分析， 如形狀去除和波長(cháng)過(guò)濾，都包含在基本Profilm3D軟件。對于更進(jìn)階的功能，Filmetrics提供了我們的合作伙伴T(mén)rueGage的TrueMap軟件可進(jìn)一步處理 Profilm3D數據， 這當然也與業(yè)界其他標準分析軟件兼容。
 
　　其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標準配備
　　為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能？每臺Profilm3D都已標配自動(dòng)化X/Y平臺包含tip/tilt 功能。
 
　　以我們的階高標準片建立標準
　　每臺Filmetrics 白光干涉儀（3D光學(xué)輪廓儀）配備了一個(gè)10微米階高標準片，可達0.5%準確度。另我們還提供具有100nm，2微米以及4微米等多階高標準片。
 
　　大視場(chǎng)
　　The Profilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野, 其數位變焦功能有助于緩解不同應用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要。 更進(jìn)一步減少總體成本。 本司也提供手動(dòng)或自動(dòng)物鏡切換炮塔等配置可彈性運用于需使用多物鏡應用之樣。
 
　　白光干涉儀（3D光學(xué)輪廓儀）常見(jiàn)的選購配件：
　　主動(dòng)式防震臺
　　4微米，2微米， 和100納米多臺階高度標準。1.25英寸方形硅片上鍍鉻
　　手動(dòng)4-物鏡炮塔及位置感測
　　自動(dòng)4-物鏡炮塔及位置感測

 

 

 

 

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