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簡(jiǎn)要描述:適用于光學(xué)、工業(yè)和半導體市場(chǎng)的高速、中精度、經(jīng)濟實(shí)惠的表面輪廓儀,納米分辨率彩色共聚焦傳感器(可配制點(diǎn)和線(xiàn)傳感器),為在線(xiàn)過(guò)程測量和控制而設計,結構緊湊,易于上下片和操作,可配制成獨立系統(X/Y/Z) 和附加升級至LAS (C/R/Z),多種樣品處理能力
產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category詳細介紹
•適用于光學(xué)、工業(yè)和半導體市場(chǎng)的高速、中精度、經(jīng)濟實(shí)惠的表面輪廓儀
•納米分辨率彩色共聚焦傳感器(可配制點(diǎn)和線(xiàn)傳感器)
•為在線(xiàn)過(guò)程測量和控制而設計
•結構緊湊,易于上下片和操作
•可配制成獨立系統(X/Y/Z) 和附加升級至LAS (C/R/Z)
•多種樣品處理能力
–單一數控加工的非球面透鏡( ?可達100mm)
–托盤(pán)中的小型模塑透鏡
–自由曲面光學(xué)器件(無(wú)旋轉對稱(chēng)) 半導體,MEMs,LED,OLED,光子晶圓
特點(diǎn):
•可在納米分辨率下測量大的臺階高度(>1mm)
•適用于較大和較重的零件、不規則幾何形狀
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