納米壓印機應用了是一種新型的微納加工技術(shù)。該技術(shù)通過(guò)機械轉移的手段，達到了超高的分辨率，有望在未來(lái)取代傳統光刻技術(shù)，成為微電子、材料領(lǐng)域的重要加工手段。

 

　　納米壓印機優(yōu)勢：

　　由于納米壓印技術(shù)的加工過(guò)程不使用可見(jiàn)光或紫外光加工圖案，而是使用機械手段進(jìn)行圖案轉移，這種方法能達到很高的分辨率。報道的高分辨率可達2納米。此外，模板可以反復使用，無(wú)疑大大降低了加工成本，也有效縮短了加工時(shí)間。因此，納米壓印技術(shù)具有超高分辨率、易量產(chǎn)、低成本、一致性高的技術(shù)優(yōu)點(diǎn)，被認為是一種有望代替現有光刻技術(shù)的加工手段。

　　加工過(guò)程：

　　納米壓印機的技術(shù)分為三個(gè)步驟：

　　1、是模板的加工：一般使用電子束刻蝕等手段，在硅或其他襯底上加工出所需要的結構作為模板。由于電子的衍射極限遠小于光子，因此可以達到遠高于光刻的分辨率。

　　2、是圖樣的轉移：在待加工的材料表面涂上光刻膠，然后將模板壓在其表面，采用加壓的方式使圖案轉移到光刻膠上。注意光刻膠不能被全部去除，防止模板與材料直接接觸，損壞模板。

　　3、是襯底的加工：用紫外光使光刻膠固化，移開(kāi)模板后，用刻蝕液將上一步未*去除的光刻膠刻蝕掉，露出待加工材料表面，然后使用化學(xué)刻蝕的方法進(jìn)行加工，完成后去除全部光刻膠，終得到高精度加工的材料。