橢圓偏振儀是一種用于探測薄膜厚度、光學(xué)常數以及材料微結構的光學(xué)測量設備。由于并不與樣品接觸，對樣品沒(méi)有破壞且不需要真空?？蓽y的材料包括：半導體、電介質(zhì)、聚合物、有機物、金屬、多層膜物質(zhì)?？梢詰糜诎雽w、通訊、數據存儲、光學(xué)鍍膜、平板顯示器、科研、生物、醫藥等領(lǐng)域。

　　主要功能：

　　測量樣品的偏振參量信息等，可用于在線(xiàn)監測，也可用于離線(xiàn)的樣品測試；可使用不同大小的光斑探測樣品。

　　橢圓偏振儀的調整要點(diǎn)主要步驟：

　　1、調整分光計；

　　2、調共軸（注意：用校光片，先不放檢偏器調，可以用白紙防在望遠鏡的目鏡處看光點(diǎn)是否在中央;然后放上檢偏器再調，注意令水平盤(pán)的О對準游標的0）；

　　3、定檢偏器的位置（望遠鏡轉66°，加黑色反光板，檢偏器90°向上，使探測器光強達到小，整體轉檢偏器合適后固定）；

　　4、定起偏器的位置（望遠鏡轉回到與平行光管對正，起偏器О°向上，空載物臺，整體轉起偏器達到光強小后固定）；

　　5、安裝1/4波片，定1/4波片的0位（只轉波片，不要轉手動(dòng)輪，使光強達到?。?；

　　6、望遠鏡轉40°，放樣品；

　　7、將1/4波片的手動(dòng)輪轉+45°和-45°，輪流轉檢偏器和起偏器達到光強讀數小，開(kāi)始讀取分光計的讀數。

　　注意事項：

　　1、個(gè)實(shí)驗過(guò)程中不得旋動(dòng)平行光管，以保證入射面不改變，否則會(huì )改變S，Р坐標軸的方位而使起偏器零點(diǎn)的位置發(fā)生改變。

　　2、整個(gè)實(shí)驗過(guò)程中，特別是轉動(dòng)望遠鏡時(shí)，不得調節望遠鏡鏡筒的高低。