在過(guò)去的幾十年中，生物技術(shù)器件的小型化極大地改善了臨床診斷，藥物研究和分析化學(xué)?，F代生物技術(shù)器件——如用于診斷、細胞分析和藥物發(fā)現的生物醫學(xué)MEMS (bioMEMS)——通常是基于芯片的，依賴(lài)于微米級和納米級生物物質(zhì)的密切相互作用。根據市場(chǎng)研究和策略咨詢(xún)公司YoleDéveloppement的報告，越來(lái)越多的醫療保健應用正在使用bioMEMS組件，而bioMEMS市場(chǎng)預計將從2015年的27億美元增長(cháng)至2021年的76億美元，增長(cháng)近三倍。到2021年，微流控器件將占生物醫學(xué)MEMS市場(chǎng)總量的86%，主要應用領(lǐng)域包括即時(shí)檢測、臨床和獸醫診斷、制藥和生命科學(xué)研究以及藥物輸送。

在高門(mén)檻、嚴監管且快速增長(cháng)的市場(chǎng)環(huán)境下，精確且高性?xún)r(jià)比的微結構化技術(shù)對于這一類(lèi)產(chǎn)品的成功商業(yè)化至關(guān)重要。傳統的工藝方法（例如注塑成型）通常無(wú)法生產(chǎn)出極小的結構和表面圖案，而這些要求苛刻的應用對于精度、質(zhì)量和可重復性的要求越來(lái)越高，或是需要在工藝開(kāi)發(fā)方面投入大量精力。與此同時(shí)，為了實(shí)現規模效應，解決方案需要從離散的器件生產(chǎn)擴展到在單個(gè)基板上批量處理多個(gè)器件。

NIL納米壓印技術(shù)已經(jīng)從一項小眾技術(shù)發(fā)展成為強大的大批量制造方法，通過(guò)壓印進(jìn)入生物相容性光刻膠或直接進(jìn)入散裝材料，能夠大規模生產(chǎn)多種不同尺寸和形狀的結構——例如高度復雜的微流體通道和表面圖案。除了結構技術(shù)外，密封和封裝是建立受限微流體通道的核心過(guò)程。因此，不同器件層、覆蓋層或互連層的鍵合是一項關(guān)鍵工藝，可與NIL一道實(shí)現經(jīng)濟高效的大面積批量工藝。作為NIL和晶圓鍵合的先驅以及市場(chǎng)和技術(shù)領(lǐng)導zhe，EVG的NIL納米壓印技術(shù)解決方案可以在生物技術(shù)應用中使用的各種基板材料上制造各種小型結構（從數百微米到二十納米），包括玻璃，硅和多種聚合物（例如，COC，COP，PMMA和PS）。每個(gè)EVG NIL解決方案適合不同的生產(chǎn)應用場(chǎng)景。例如，熱壓印可精確印制較大的結構以及微米結構和納米結構的組合，并且在復制高縱橫比的特征或使用非常薄的基板時(shí)表現優(yōu)異。UV-NIL可在納米范圍內提供jigao的精度、圖案保真度和產(chǎn)量。微接觸印刷是另一種NIL選項，它可以將生物分子等材料以dute的模式轉移到基材上。

憑借其成熟的晶圓級鍵合設備，EVG還可提供與NIL納米壓印結構技術(shù)相匹配的封裝和鍵合工藝。從先進(jìn)的室溫鍵合技術(shù)到等離子活化鍵合，乃至高品質(zhì)的氣密和真空封裝，不一而足。典型的解決方案包括用于玻璃和聚合物基板的EVG熱鍵合設備，通過(guò)在大范圍內實(shí)現高壓和溫度均勻性，效果十分理想。EVG還提供了室溫選擇性粘合劑轉移技術(shù)，可在器件封裝之前簡(jiǎn)化生物分子的摻入。

EVG業(yè)務(wù)發(fā)展總監Thomas Uhrmann博士說(shuō)：“EVG在為生物醫學(xué)研發(fā)提供產(chǎn)品和解決方案方面有著(zhù)悠久的歷史，早在15年前，EVG就為新興的生物醫學(xué)和微流體研究應用安裝了第一個(gè)熱壓印系統。"“ EVG在這一領(lǐng)域積累的知識，加上我們在其他市場(chǎng)將創(chuàng )新技術(shù)投入批量生產(chǎn)的經(jīng)驗，使我們能夠很好地為生物醫學(xué)行業(yè)提供成熟的大批量制造工藝和服務(wù)，以支持下一代生物技術(shù)器件的生產(chǎn)。"

除設備和工藝解決方案外，EVG還通過(guò)其位于奧地利的公司總部及其北美和日本子公司的潔凈室設施，為客戶(hù)提供開(kāi)發(fā)和中試生產(chǎn)服務(wù)。