光學(xué)輪廓儀是一種全自動(dòng)測量設備。操作員只需安裝被測工件，在驗證軟件上設置掃描的開(kāi)始和結束位置，點(diǎn)擊“開(kāi)始”按鈕，測量針就會(huì )自動(dòng)接觸工件表面并根據設置的位置進(jìn)行掃描；在輪廓掃描過(guò)程中，軟件界面會(huì )實(shí)時(shí)繪制輪廓曲線(xiàn)；掃描后，操作員可以通過(guò)輪廓分析工具分析生成的輪廓曲線(xiàn)，以獲得直線(xiàn)度、圓度、角度、距離、間距等輪廓參數。
光學(xué)輪廓儀應該怎么用
輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術(shù)的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性(穩定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。
輪廓儀的優(yōu)勢：
1、美國硅谷研發(fā)的合心技術(shù)和系統軟件；
2、關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等品牌；
3、PI納米移動(dòng)平臺及控制系統；
4、Nikon干涉物鏡；
5、NI信號控制板和Labview64 控制軟件；
6、TMC光學(xué)隔振臺；
7、測量準確度重復性達到先進(jìn)水平。
