多層膜厚度測試是指對由多個(gè)薄膜層疊加而成的復合膜進(jìn)行厚度測量。由于多層膜通常由幾個(gè)不同材料的薄膜層組成,因此測量其厚度需要考慮不同層之間的界面影響以及每個(gè)單獨層的厚度。
多層膜厚度測試儀是一款快速、準確測量薄膜表征應用的模塊化產(chǎn)品。它采用先進(jìn)的超聲波技術(shù),實(shí)現了較好的測量精度,具有優(yōu)秀重復性和再現性。產(chǎn)品可以在任何生產(chǎn)環(huán)境中操作。附帶的Windows應用軟件管理數據傳輸和自動(dòng)超聲波波形分析。
目前,產(chǎn)品可應用于在線(xiàn)膜厚測量、測氧化物、SiNx、感光保護膜和半導體膜。同時(shí)多層膜厚度測試儀還可以用來(lái)測量鍍在鋼、鋁、銅、陶瓷和塑料等上的粗糙膜層。薄膜表面或界面的反射光會(huì )與從基底的反射光相干涉,干涉的發(fā)生與膜厚及折光系數等有關(guān),因此可通過(guò)計算得到薄膜的厚度。光干涉法是一種無(wú)損,且快速的光學(xué)薄膜厚度測量技術(shù),薄膜測量系統采用光干涉原理測量薄膜厚度。

多層膜厚度測試儀的特點(diǎn):
1、可以測量多層膜中每一層的厚度;
2、遠程控制和在線(xiàn)測量;
3、豐富的材料庫:操作軟件的材料庫帶有大量材料的n和k數據,基本上常用材料都包括在這個(gè)材料庫中。用戶(hù)也可以在材料庫中輸入沒(méi)有的材料;
4、操作簡(jiǎn)單,測速快:膜厚測量?jì)x操作非常簡(jiǎn)單;
5、帶有可升級的掃描功能,進(jìn)行薄膜二維的測試,并將結果以2D或3D的形式顯示;
6、帶有構建材料結構的拓展功能,可對多層薄膜數據進(jìn)行擬合分析,可對薄膜材料進(jìn)行預先模擬設計。
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