近年來(lái)，隨著(zhù)儀器行業(yè)的不斷發(fā)展，多波段橢偏儀在市場(chǎng)上得到了快速地發(fā)展。由于其突出的表現，受到了廣泛用戶(hù)的青睞。目前本產(chǎn)品可以適用于超薄膜，與樣品非接觸等，下面我們就來(lái)具體的了解一下這款儀器！

　　在多波段橢偏儀的測量中使用不同的硬件配置，但每種配置都必須能產(chǎn)生已知偏振態(tài)的光束。測量由被測樣品反射后光的偏振態(tài)。這要求儀器能夠量化偏振態(tài)的變化量ρ。

 

　　有些儀器測量ρ是通過(guò)旋轉確定初始偏振光狀態(tài)的偏振片。再利用第二個(gè)固定位置的偏振片來(lái)測得輸出光束的偏振態(tài)。另外一些儀器是固定起偏器和檢偏器，而在中間部分調制偏振光的狀態(tài)，如利用聲光晶體等，最終得到輸出光束的偏振態(tài)。這些不同的配置的最終結果都是測量作為波長(cháng)和入射角復函數ρ。

 

　　在選擇合適的多波段橢偏儀時(shí)候，光譜范圍和測量速度也是一個(gè)通常需要考慮的重要因素?？蛇x的光譜范圍從深紫外的142nm到紅外的33microm。光譜范圍的選擇通常由應用決定。不同的光譜范圍能夠提供關(guān)于材料的不同信息，合適的儀器必須和所要測量的光譜范圍匹配。

 

　　測量速度通常由所選擇的分光儀器來(lái)決定。單色儀用來(lái)選擇單一的、窄帶的波長(cháng)，通過(guò)移動(dòng)單色儀內的光學(xué)設備，單色儀可以選擇感興趣的波長(cháng)。這種方式波長(cháng)比較準確，但速度比較慢，因為每次只能測試一個(gè)波長(cháng)。如果單色儀放置在樣品前，有一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是明顯減少了到達樣品的入射光的量。另外一種測量的方式是同時(shí)測量整個(gè)光譜范圍，將復合光束的波長(cháng)展開(kāi)，利用探測器陣列來(lái)檢測各個(gè)不同的波長(cháng)信號。在需要快速測量的時(shí)候，通常是用這種方式。傅立葉變換分光計也能同時(shí)測量整個(gè)光譜，但通常只需一個(gè)探測器，而不用陣列，這種方法在紅外光譜范圍應用最為廣泛。