電鏡隔振臺是一款緊湊型模塊化的主動(dòng)隔振系統，有利于為基礎研究、應用研究、生產(chǎn)等領(lǐng)域所用精密儀器創(chuàng )造穩定的測量環(huán)境。本產(chǎn)品可在寬頻率范圍內進(jìn)行隔振，為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、微型檢測設備等提供優(yōu)異的隔振性能。
工作原理：
安裝有測量和制造設備的地板或多或少會(huì )有振動(dòng)。如果這些振動(dòng)對設備造成不利影響，有效的解決方案則是使用隔振臺，以便營(yíng)造適合該設備的條件。
電鏡隔振臺使用電氣控制，通過(guò)對傳入振動(dòng)施加反方向的力來(lái)立即消除振動(dòng)。傳感器不斷監測振動(dòng)，并基于該信息，執行器沿相反方向產(chǎn)生作用力，并繼續產(chǎn)生最佳的振動(dòng)隔離狀態(tài)。隔振臺擅長(cháng)于10Hz以下的低頻范圍內的隔振。
電鏡隔振臺采用先進(jìn)的隔振技術(shù)，適用于任何研究情況下，可以隔離6個(gè)自由度方向上的振動(dòng)，包括水平和垂直方向。本產(chǎn)品平臺利用控制器內的壓電加速度傳感器來(lái)傳感外界傳入的振動(dòng)，通過(guò)將外界的壓力信息轉換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產(chǎn)生一個(gè)與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號來(lái)消除傳入振動(dòng)。隔振系統利用一個(gè)反饋回路來(lái)消除隔振系統的機械共振?？蔀閷?shí)驗室中對震動(dòng)敏感的設備如電鏡，光學(xué)器件等精密儀器隔離來(lái)自地面的震動(dòng)，提供穩定的測試環(huán)境。 
應用范圍：
1、超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）；
2、光刻工具；
3、高精度計量工具；
4、光譜儀器。
電鏡隔振臺的性能優(yōu)勢：
1、5-20ms響應時(shí)間；
2、無(wú)低頻共振、無(wú)空氣要求；
3、低頻隔振性能優(yōu)異，安裝和使用簡(jiǎn)單；
4、系統主動(dòng)檢測輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除；
5、緊湊、模塊化的多功能設計；
6、穩定性高，能*連續使用多年；
7、六個(gè)空間方向自由隔振（0.5Hz-200Hz主動(dòng)隔振，>200Hz被動(dòng)隔振）。
