鍵合機是一種高度靈活的晶圓鍵合系統，可以處理從碎片到200mm的基板尺寸。該工具支持所有常見(jiàn)的晶圓鍵合工藝，例如陽(yáng)極，玻璃粉，焊料，共晶，瞬態(tài)液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工具設計允許對不同的晶圓尺寸和工藝進(jìn)行快速便捷的重新工具化，轉換時(shí)間不到5分鐘。這種多功能性非常適合大學(xué)，研發(fā)機構或小批量生產(chǎn)應用。本產(chǎn)品與大批量制造工具上的鍵合室設計相同，鍵合程序易于轉移，可輕松擴大生產(chǎn)規模。

 

　　鍵合機的結構說(shuō)明：

　　1、爐體：采用雙層水夾層結構，爐壁溫度不超過(guò)60℃，內外壁為不銹鋼拋光。上、下法蘭組焊成筒型結構，法蘭平面開(kāi)設密封槽。采用氟圈真空密封，并設水冷裝置。爐體設有抽真空接口、充氣接口、放氣接口、真空壓力表接口、真空規管接口、溫度測量接口、電極法蘭接口、冷卻水進(jìn)出接口等。

　　2、爐蓋：采用雙層夾層封頭結構，內外壁為304不銹鋼，爐蓋上設有水冷不銹鋼上壓頭、壓頭鎖緊裝置、爐蓋導向裝置、泄壓閥、爐蓋緊鎖等裝置。爐蓋可方便的提起和安裝。

　　3、爐底：采用雙層水夾層結構，水冷不銹鋼下壓頭、壓力傳感器、真空密封結構、液壓缸、可調節高度位移傳感器等。

　　4、爐架：由四根立柱與架臺連接，上下承壓板采用碳鋼煮黑處理，橫放在四根立柱上，采用M24螺母進(jìn)行鎖緊、固定。耐壓強度高，光潔度及平衡度高。

　　5、壓頭：上、下壓頭采用高純石墨塊制作壓成。配合陶瓷隔熱片、云母隔熱片與設備水冷壓頭組成一整套完備的結構設計。

　　6、真空獲得系統：由一臺機械泵以及高真空手動(dòng)擋板閥，波紋管等組成。

　　7、真空測量系統：采用電阻真空計測量真空度。

　　8、液壓系統：采用電動(dòng)輸入方式。由液壓站配有進(jìn)口比例閥、壓力傳感器、位移顯示器、液壓缸等相關(guān)液壓裝置，壓力調節半自動(dòng)化、可通過(guò)手動(dòng)調節。儀表可設定自動(dòng)調節壓力，并能實(shí)現穩壓、保壓。

　　9、溫控系統：采用日本島電溫控器配合固態(tài)繼電器和K型熱電偶形成閉環(huán)PID控溫，控溫精準，誤差在1℃內。

　　10、水冷系統：由各種管道閥等相關(guān)裝置組成，具有水壓欠壓、斷水聲光報警自動(dòng)切斷電源功能。

　　11、發(fā)熱組件、隔熱屏：發(fā)熱組件采用氧化鋁纖維加熱模塊的結構，方便模塊化更新和維護，保溫性能好、加熱均勻、輻射面大、耐熱沖擊性好。保溫層和發(fā)熱分體，易維護和取裝。

　　13、充氣系統：由各種管道及閥門(mén)組成，并配有放氣閥，充氣管路上裝有針閥。并配有奧托尼克斯壓力變送器和日本進(jìn)口CKD閥，能實(shí)現自動(dòng)充放氣功能，自動(dòng)保壓、穩壓。