Filmetrics 3D光學(xué)輪廓儀是用于對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器，它是以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來(lái)，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過(guò)測量干涉條紋的變化來(lái)測量表面三維形貌。
Filmetrics 3D光學(xué)輪廓儀具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率， Profilm3D 同樣使用了現今高分辨率之光學(xué)輪廓儀的測量技術(shù)包含垂直掃描干涉（VSI）及相移干涉（PSI）。
Profilm3D的解析力
=每臺Profilm3D帶有直觀(guān)的粗糙度，表面形貌和臺階高度的測量軟件。所有常見(jiàn)如ISO 25178 所規范的粗糙度參數都支持，也包括軟件功能用于形貌分析，如形狀去除和波長(cháng)過(guò)濾，都包含在基本Profilm3D軟件。對于更進(jìn)階的功能，Filmetrics提供了我們的合作伙伴T(mén)rueGage的TrueMap軟件可進(jìn)一步處理 Profilm3D數據，這當然也與業(yè)界其他標準分析軟件兼容。
大視場(chǎng)
The Profilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野，其數位變焦功能有助于緩解不同應用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要。更進(jìn)一步減少總體成本。也提供手動(dòng)或自動(dòng)物鏡切換炮塔等配置可彈性運用于需使用多物鏡應用之樣。
