硅片電阻率測試模組是一款測量圓柱晶體硅電阻率測試儀器，可測量硅芯，檢磷棒，檢硼棒，籽晶等，由于儀器大大消除了珀爾帖效應、塞貝克效應、少子注入效應等負效應的影響，因此測試精度大大提高，量程實(shí)現了電阻率從10-4歐姆 . 厘米到10+4歐姆.厘米（可擴展）的測試范圍。因此儀器具有測量精度高、穩定性好、測量范圍廣、結構緊湊、使用方便等特點(diǎn)。是西門(mén)子法、硅烷法等工藝生產(chǎn)原生多晶硅料的企業(yè)、物理提純生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)、光伏及半導體材料廠(chǎng)、器件廠(chǎng)、科研部門(mén)、高等院校以及需要超大量程測試電阻率測試的企業(yè)的最佳幫手。
硅片電阻率測試模組的使用特點(diǎn)：
1、適合檢測硅芯，檢磷棒，檢硼棒，籽晶等圓柱晶體硅；
2、適用于西門(mén)子法、硅烷法等工藝生產(chǎn)原生多晶硅料的企業(yè)；
3、適用于物理提純生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)；
4、適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導體器件企業(yè)；
5、適用于科研部門(mén)、高等院校及需要超大量程測量電阻率的企業(yè)；
6、儀器消除了珀爾帖效應、塞貝克效應、少子注入效應等負效應的影響，因此測試精度大大提高；
7、測量精度高，除了具有厚度修正功能外、還有溫度修正、圓片直徑修正等功能；
8、良好的設計能有效消除測量引線(xiàn)和接觸電阻產(chǎn)生的誤差， 實(shí)現了測量的高精度和極寬的量程范圍；
9、雙數字表結構使測量更精確，操作更簡(jiǎn)便；
10、具有強大的測試數據查詢(xún)及打印功能；
11、測量系統可實(shí)現自動(dòng)換向測量、求平均值、最大值、最小值、平均百分變化率等；
12、四探針頭采用進(jìn)口紅寶石軸套導向結構，使探針的游移率減小，測量重復性大大提高；
13、采用進(jìn)口元器件，留有更大的安全系數，大大提高了測試儀的可靠性和使用壽命；
14、具有正測反測的功能，保證測試結果的準確性；
15、具有抗強磁場(chǎng)和抗高頻設備的性能。
