FR-Mic多層膜厚度測試儀是一款快速、準確測量薄膜表征應用的模塊化解決方案，可以將光斑縮小到幾個(gè)微米，進(jìn)而分析微小區域或者粗糙表面薄膜特征。它可以配備一臺專(zhuān)用計算機控 制的 XY 工作臺，使其快 速、方便和準確地描繪樣品的厚度和光學(xué)特性 。也可以搭配自動(dòng)平臺測量 400x400mm 大小樣品。
Thetametrisis利用 FR-Mic，通過(guò)紫外/ 可見(jiàn)/ 近紅外可輕易對局部區域薄膜厚度，厚度映射，光學(xué)常數，反射率，折射率及消光系數進(jìn)行測量。
【相關(guān)應用】
高校 & 研究所實(shí)驗室
半導體制造 (氧化物/氮化物， 硅膜, 光刻膠及其他半導體薄膜.)
MEMS 器件 (光刻膠, 硅膜等.)
LEDs, VCSELs 多層膜測量應用
數據存儲
陽(yáng)極處理氧化膜
曲面基底的硬化涂層
聚合物膜層, 粘合劑.
生 物醫學(xué)(聚對二甲苯, 生物膜/氣泡壁厚度.)
OEM或客制化應用
【特點(diǎn)】
實(shí)時(shí)光譜測量
薄膜厚度，光學(xué)特性，非均勻性測量， 厚度映射
使用集成 USB 高品質(zhì)彩色攝像機進(jìn)行成像 (所視即所測)
【技術(shù)參數】
*測量面積(收集反射或透射信號的面積)與顯微鏡物鏡和 FR-uProbe 的孔徑大小有關(guān)。
【工作原理】
1、規格如有更改，恕不另行通知；
2、測量結果與校準的光譜橢偏儀和 XRD 相比較,
3、連續 15 天測量的標準方差平均值。樣品：(1um SiO2 on Si.) ,
4、100 次厚度測量的標準方差，樣品：1um SiO2 on Si.
5、超過(guò) 15 天的標準偏差日平均值樣品：1um SiO2 on Si。
6、使用反射式物鏡。
產(chǎn)品型號：FR-Mic