三維形貌儀是一款光學(xué)表面形貌儀,非常適合對表面幾何形狀和表面紋理分析，以標準方案或定制性方案對二維形貌或三維形貌表面形貌和表面紋理，微米和納米形狀，圓盤(pán)，圓度，球度，臺階高度，距離，面積，角度和體積進(jìn)行多范圍測量。
三維形貌儀是采用先進(jìn)的白光干涉掃描技術(shù)研制的納米量級形貌測量?jì)x器，透過(guò)精密的掃描系統和解析算法，進(jìn)行樣品表面微細形貌的量測與分析。表面顯微成像能力與高精度測量的結合，只需數秒鐘，就能觀(guān)測到表面的三維輪廓、臺階高度、表面紋理、微觀(guān)尺寸以及包含各類(lèi)參數的測量結果。
標準配置采用六軸手動(dòng)調整的載物平臺，可依據不同測試要求做彈性調整，并可選配電動(dòng)載物平臺，以實(shí)現自動(dòng)定位、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)縫合之大面積高精度的量測要求，樣品均不需前處理即可進(jìn)行非破壞、高精度、快速的表面形貌測量和分析。
系統采用氣浮式隔振模塊、堅固的花崗巖和鋼結構支撐，具有出色的穩定性。測量過(guò)程簡(jiǎn)便而快速，只需把被測物體放置到載物臺，聚焦出干涉條紋，按下測量按鈕即可開(kāi)始整個(gè)測量過(guò)程。
三維形貌儀工作原理
它是利用光學(xué)干涉原理研制開(kāi)發(fā)的超精密表面輪廓測量?jì)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過(guò)分光鏡后合成一束光，并由成像系統在CCD相機感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會(huì )觀(guān)察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現的位置解析出被測樣品的相對高度。
三維形貌儀能夠在同一測試平臺上運行多種測試，只需單擊按鈕，就能轉換成像模式。這種組合可以輕松地對任何表面進(jìn)行成像如透明、平坦、黑暗、扁平、彎曲的表面等。每種成像模式都具有各自的優(yōu)勢，并且各項技術(shù)彼此互補。該項整合技術(shù)不僅有利于數據的綜合分析，也可以減少維護成本，從而提高效率。
