什么是納米位移電容傳感器

　　納米位移電容傳感器由傳感器探頭、放大器和電源組成。具有結構簡(jiǎn)單、非接觸、頻響寬等特點(diǎn)，被認為是*性的微位移傳感技術(shù)，廣泛用于納米位移與定位控制系統。

　　納米位移電容傳感器的工作原理

　　納米位移電容傳感器是基于理想平板電容原理設計研發(fā)的，被測物體與傳感器各自作為一個(gè)平板電極。給傳感器一個(gè)持續穩定的交流電，交流電壓的振幅變化與電容到被測物體之間的距離成正比。交流電經(jīng)過(guò)解調，可以測出位移量。電容式位移傳感器具有信噪比大、靈敏度高、頻響寬、非線(xiàn)性小、精度穩定性好、無(wú)損耗等特點(diǎn)。

　　納米位移電容傳感器的特點(diǎn)

　　1.非線(xiàn)性度小

　　非接觸式設計，測量點(diǎn)和被測量點(diǎn)之間不接觸，避免了測量時(shí)的干擾，提高了測量的精度。將對被測目標的影響降到低，解決平板電容模型邊緣效應，解決常規采集電容片電場(chǎng)帶來(lái)的非線(xiàn)性問(wèn)題。

　　2.分辨率高

　　通過(guò)設計電纜屏蔽和的運放驅動(dòng)法進(jìn)行了優(yōu)化和處理，運用運算放大器來(lái)驅動(dòng)的方法，用電纜屏蔽和算法，進(jìn)行優(yōu)化設計，從而解決了電容值采集值放大，提高了測量的精度，并降低了干擾。解決電容傳感器采集電容容值較低，易受寄生電容和自身電容誤差帶來(lái)干擾問(wèn)題，且在噪聲抑制處理，提高控制系統分辨率。

　　納米位移電容傳感器的典型應用

　　01.納米位移傳感器用于光刻機曝光鏡頭微調整系統

　　納米位移傳感器可用于光刻機的核心部件—曝光鏡頭的位置調整。

　　02.納米位移傳感器用于機床主軸位置調整

　　機床主軸的轉速可高達6000r/min。即使主軸上有微米級別的圓度差異，也會(huì )在被加工的材料上留下輕微劃傷，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量。為了提高質(zhì)量，有必要對主軸進(jìn)行圓度測量，三英精控的電容式位移傳感器可以滿(mǎn)足圓度測量的要求。