在過(guò)去的幾十年中，生物技術(shù)設備的小型化極大地改善了臨床診斷，藥物研究和分析化學(xué)?，F代生物技術(shù)設備，例如用于診斷，細胞分析和藥物發(fā)現的生物醫學(xué)MEMS，通常是基于芯片的，并且依賴(lài)于微米級和納米級生物物質(zhì)的緊密相互作用。根據市場(chǎng)研究報告，越來(lái)越多的醫療保健應用正在使用bioMEMS組件。受諸如即時(shí)點(diǎn)測試，臨床和獸醫診斷等應用的推動(dòng)，到2021年，已占生物MEMS市場(chǎng)總量的86％。
NIL納米壓印光刻技術(shù)已從利基技術(shù)演變?yōu)閺姶蟮拇笈恐圃旆椒?，該方法可通過(guò)將印跡或生物印跡到生物相容性上，從而大規模生產(chǎn)多種不同大小和形狀的結構，例如高度復雜的微流體通道和表面圖案抵抗或直接進(jìn)入散裝材料。除了結構技術(shù)外，密封和封裝是建立受限微流體通道的核心過(guò)程。因此，不同器件層，覆蓋層或互連層的鍵合是關(guān)鍵過(guò)程，可以與NIL一起以經(jīng)濟高效的大面積批量過(guò)程實(shí)現。作為NIL和晶圓鍵合的先驅以及市場(chǎng)和技術(shù)先進(jìn)者，
EVG的NIL納米壓印光刻技術(shù)解決方案可以在生物技術(shù)應用中使用的各種基板材料上制造各種小型結構，包括玻璃，硅和多種聚合物。每個(gè)EVG NIL解決方案都*地適合于不同的生產(chǎn)應用。例如，熱壓花可精確刻印較大的結構以及微結構和納米結構的組合，并且在復制高縱橫比的特征或使用非常薄的基板時(shí)非常出色。UV-NIL可在納米范圍內提供較高的精度，圖案逼真度和產(chǎn)量。微接觸印刷是另一種NIL選項，可以將諸如生物分子之類(lèi)的材料以*的圖案轉移到基材上。
憑借其成熟的晶圓級鍵合設備，EVG還可以提供與NIL納米壓印光刻結構技術(shù)匹配的密封和鍵合工藝。提供各種不同的鍵合選項，從先進(jìn)的室溫鍵合技術(shù)到等離子活化鍵合以及高質(zhì)量的氣密密封和真空封裝。典型解決方案的示例包括用于玻璃和聚合物基板的EVG熱粘合設備，該設備通過(guò)在大面積上實(shí)現高壓和溫度均勻性而提供出色的結果。EVG還提供了其室溫選擇性粘合劑轉移技術(shù)，該技術(shù)可在封裝設備之前簡(jiǎn)化生物分子的摻入。
