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白光干涉儀主要是由以下這些部分構成的

更新時(shí)間:2022-04-13  |  點(diǎn)擊率:1152
  白光干涉儀能夠在同一測試平臺上運行多種測試,產(chǎn)品的組合可根據不同的技術(shù)應用要求而改變。針對樣品的同一區域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗檢測,模式切換可實(shí)現全自動(dòng)化。多項技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項整合技術(shù)不僅有利于數據的綜合分析,也可以減少維護成本,從而提高效率。
 

 

  白光干涉儀的測量應用:
  以測量單刻線(xiàn)臺階為倒,在檢查儀器的各線(xiàn)路接頭都準確插到對應插孔后,開(kāi)啟儀器電源開(kāi)關(guān),啟動(dòng)計算機,將單刻線(xiàn)臺階工件放置在載物臺中間位置,先手動(dòng)調整載物臺大概位置,對準白光干涉儀目鏡的下方。
  在計算機上打開(kāi)白光干涉儀測量軟件,在軟件界面上設置好目鏡下行的最小點(diǎn),再微調鏡頭與被測單刻線(xiàn)臺階表面的距離,調整到計算機屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳,此時(shí)設置好要掃描的距離。按開(kāi)始按鈕,白光干涉儀可自動(dòng)進(jìn)行掃描測量,測量完成后,轉件自動(dòng)生成3D圖像,測量人員可以對3D圖像進(jìn)行數據分析,獲得被測器件表面線(xiàn)、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數。
  白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能全面、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測量單個(gè)精密器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以?xún)?,確保了高款率檢測。白光干涉儀*的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。
 
  白光干涉儀由以下及部分構成:
  光學(xué)照明系統 ,采用鹵素光源,其中心波長(cháng)為576納米,光譜范圍從340納米到780納米。光學(xué)成像系統 采用無(wú)限遠光學(xué)成像系統,由顯微物鏡和成像目鏡組成。垂直掃描控制系統 由壓電陶瓷以及控制驅動(dòng)器構成,采用閉環(huán)反饋控制方法,可精密驅動(dòng)顯微物鏡上下移動(dòng),移動(dòng)范圍100mm。位置移動(dòng)精度為0.1納米。信號處理系統 信號處理系統是該儀器的核心部分,由計算機和數字信號協(xié)處理器構成。利用計算機采集一系列原始圖像數據。然后使用專(zhuān)用的數字信號協(xié)處理器完成數據解析作業(yè)。應用軟件 應用軟件主要由操作控制部分,結果顯示部分以及后處理部分組成。主要用于操作控制表面形狀測量?jì)x器。同時(shí),以三維立體,二維平面以及斷面分布曲線(xiàn)方式顯示實(shí)時(shí)測量結果。并可對測量結果作進(jìn)一步的修正處理。
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