近年來(lái),隨著(zhù)儀器行業(yè)的不斷發(fā)展,白光干涉儀在市場(chǎng)上得到了快速地發(fā)展。由于其突出的表現,受到了廣泛用戶(hù)的青睞。目前本產(chǎn)品可以廣泛地應用于半導體制造、微納材料及制造、航空航天等,下面我們就來(lái)具體的了解一下這款儀器!
白光干涉儀能夠在同一測試平臺上運行多種測試,產(chǎn)品的組合可根據不同的技術(shù)應用要求而改變。針對樣品的同一區域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗檢測,模式切換可實(shí)現全自動(dòng)化。多項技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項整合技術(shù)不僅有利于數據的綜合分析,也可以減少維護成本,從而提高效率。

目前本產(chǎn)品可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等。
產(chǎn)品功能:
1、測量中提供拼接測量功能;
2、測量中提供自動(dòng)多區域測量功能、批量測量、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)調亮度等自動(dòng)化功能;
3、一體化操作的測量與分析軟件,操作無(wú)須進(jìn)行切換界面,預先設置好配置參數再進(jìn)行測量,軟件自動(dòng)統計測量數據并提供數據報表導出功能,即可快速實(shí)現批量測量功能;
4、分析中提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能,其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標準濾波、過(guò)濾頻譜等功能;提取包括提取區域和提取剖面等功能;
5、分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能,其中粗糙度分析包括依據國際標準的ISO4287的線(xiàn)粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數分析功能;幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線(xiàn)度、圓度形位公差評定等功能;結構分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數和體積參數等功能;
6、分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,設置分析模板,結合測量中提供的自動(dòng)測量和批量測量功能,可實(shí)現對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數據的功能。