晶圓鍵合機是實(shí)現系統微型化和系統更高集成度的關(guān)鍵工藝設備，尤其是先進(jìn)的MEMS、MOEMS制造的關(guān)鍵設備之一。其鍵合工藝主要包括陽(yáng)極鍵合、共晶鍵合、熔融鍵合。該設備主要應用于微機電系統極限環(huán)境可靠性測試試驗中的封裝測試過(guò)程，為各種微機電器件提供不同類(lèi)型的鍵合封裝，為檢驗不同材料、鍵合條件對可靠性的影響提供鍵合技術(shù)支持。
EVG 510-晶圓鍵合機是用于研發(fā)或小批量生產(chǎn)的晶圓鍵合系統，可以處理從碎片到200 mm的基板尺寸。該工具支持所有常見(jiàn)的晶圓鍵合工藝，例如陽(yáng)極，玻璃粉，焊料，共晶，瞬態(tài)液相和直接法。
EVG 510-晶圓鍵合機具有哪些特點(diǎn)呢？
1、良好的壓力和溫度均勻性；
2、兼容EVG機械和光學(xué)對準器；
3、靈活的設計和配置，用于研究和試生產(chǎn)；
4、將單芯片形成晶圓；
5、各種工藝(共晶，焊料，TLP，直接鍵合)；
6、可選的渦輪泵(<1E-5 mbar)；
7、可升級用于陽(yáng)極鍵合；
8、開(kāi)室設計，易于轉換和維護；
9、生產(chǎn)兼容；
10、高通量，具有快速加熱和泵送規格；
11、通過(guò)自動(dòng)楔形補償實(shí)現高產(chǎn)量；
12、開(kāi)室設計，可快速轉換和維護；
13、200 mm鍵合系統的小占地面積：0.8m²；
14、程序與EVG的大批量生產(chǎn)鍵合系統*兼容。
