光學(xué)膜厚儀是一種非接觸式測量?jì)x器，一般會(huì )運用在生產(chǎn)廠(chǎng)商大量生產(chǎn)產(chǎn)品的過(guò)程，由于誤差經(jīng)常會(huì )導致產(chǎn)品全部報廢，這時(shí)候就需要運用光學(xué)膜厚儀來(lái)介入到生產(chǎn)環(huán)境，避免這種情況的發(fā)生。

 

　　光學(xué)膜厚儀的光學(xué)機械組件：

　　1、光源：寬光譜光源；

　　2、探測器：高靈敏度低噪音陣列式光譜探測器；

　　3、控制箱：含電路板、控制單元、電源、光源；

　　4、輸出設備：軟件界面支持輸出、輸入光譜數據庫。

 

　　系統特點(diǎn)：

　　1、嵌入式在線(xiàn)診斷方式；

　　2、免費離線(xiàn)分析軟件；

　　3、精細的歷史數據功能，幫助用戶(hù)有效地存儲，重現與繪制測試結果；

　　4、主要為半導體、新能源企業(yè)和高校及研發(fā)中心提供各類(lèi)精密進(jìn)口制程及測量設備。提供全面的一對一*，技術(shù)支持，備件管理和咨詢(xún)服務(wù)。

 

　　性能特點(diǎn)：

　　1、快速測量：僅需1-2秒就可以完成一次測量；

　　2、測量范圍廣：可測量膜厚范圍從15nm-70um；

　　3、簡(jiǎn)潔操作：常規操作，只需點(diǎn)擊一個(gè)按鈕就可完成操作；

　　4、高效穩定：適用于工業(yè)現場(chǎng)，穩定可靠；

　　5、經(jīng)濟實(shí)用：能夠滿(mǎn)足膜厚的常規測量，成本較低。

　　光學(xué)膜厚儀的使用注意事項：

　　1、零點(diǎn)校準：在每次使用膜厚儀之前需要進(jìn)行光學(xué)校準，因為之前的測量參數會(huì )影響該次對物體的測量，零點(diǎn)校準可以消除前次測量有參數的影響，能夠降低測量的結果的誤差，使測量結果更加jīng確；

　　2、基體厚度不宜過(guò)?。涸谑褂霉鈱W(xué)膜厚儀對物體進(jìn)行測量時(shí)基體不宜過(guò)薄，否則會(huì )jí大程度的影響儀器的測量精度，造成數據結果不準確，影響測量過(guò)程的正常進(jìn)行；

　　3、物體表面粗糙程度：對于被測物體的表面不宜太過(guò)粗糙，因為粗糙的表面容易引起光的衍射，降低了光學(xué)膜厚儀的測量精度，造成很大的誤差。所以被測物體的表面應該盡量保持光滑，以保證測量結果的jīng確性。