美國FSM成立于1988年，總部位于圣何塞，多年來(lái)為半導體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測量設備。

美國FSM高溫薄膜應力及翹曲度測量?jì)x特殊功能優(yōu)點(diǎn)：

1、*封閉的設計，溫度更穩定。

2、特殊的設計使震動(dòng)偏移降到較低。

3、圖形式使用界面更容易使用。

4、當改變彈性模數，晶圓或薄膜厚度設備會(huì )自動(dòng)重新計算應力保存數據文檔。

5、可以計算雙軸彈性模量和線(xiàn)膨脹系數。

6、可以計算應力的均勻性。

7、可以輸出數據到Excel ，提供給SPC 分析。

8、多重導向銷(xiāo)設計，手動(dòng)裝載樣品，有優(yōu)異的重復性與再現性研究。

9、優(yōu)異的分辨率測量0.2um弓形高度變化超過(guò) 20M 的平鏡（大約 0.8%）

10、FSM高溫薄膜應力及翹曲度測量?jì)x全3D測繪的手動(dòng)旋轉平臺。

11、測量局部應力測量42 點(diǎn)/mm 并大于8400 點(diǎn)/200mm晶圓。這種測量密度獲得更好的信號噪聲比。