FilmSense FS-1多波長(cháng)橢偏儀使用長(cháng)壽命LED光源設計，使用壽命大于5000小時(shí)，同時(shí)FS-1的設計結構沒(méi)有轉動(dòng)部件以確保設備的穩定性。總的來(lái)講，FS-1是一臺簡(jiǎn)單易用的緊湊型設計的橢偏儀但它能提供快速、可靠的薄膜測量。
FilmSense 橢偏儀的優(yōu)點(diǎn)：
1、沒(méi)有復雜的軟件設置和維護。
2、測量精度只有用本儀器才能達到。
3、快速多次測量（多波長(cháng)數據在10毫秒）且長(cháng)期可靠性。
4、長(cháng)壽命（>50000小時(shí)），不用頻繁更換昂貴的燈泡，或定時(shí)校正或周期維護。
5、器對薄膜Δ參數相位差極其敏感，能夠準確的測量薄膜厚度低至0?。
6、橢偏儀是測量比率，所以它對光束強度的變化，或樣品的缺陷引起散射光不敏感的。
7、儀器在每個(gè)波長(cháng)測量2個(gè)量(Ψ and Δ)，可以確定2個(gè)定量比如薄膜厚度，以及光學(xué)常數或基底的折射系數和消光系數。
FilmSense 橢偏儀的應用：
1、FS -1可用于實(shí)驗室研究，教學(xué)，在線(xiàn)制程監控，工業(yè)品質(zhì)控制等應用。
2、半導體行業(yè)：硅的氧化物和氮化物，高和低k介質(zhì)、多晶和非晶硅薄膜，光刻膠。
3、光學(xué)涂覆工業(yè)：高、低折射率薄膜如SiO2，TiO2，Ta2O5，MgF2，等。
4、顯示行業(yè)：導電層（如ITO），非晶硅薄膜、有機薄膜（OLED技術(shù)）。
5、數據存儲產(chǎn)業(yè)：類(lèi)金剛石薄膜。
6、R&D 工序：薄膜沉積的原位表征（速率和光學(xué)常數）對應工藝條件的變化值，適用于MBE、MOCVD、ALD、濺射等。
7、化學(xué)和生物：亞-單層材料吸附液體中的細胞實(shí)驗檢測。
8、工業(yè)：在線(xiàn)監測和控制薄膜的厚度。
